中电鹏程获批南京市2022年度市级重大科技专项项目

近日，南京市科学技术局公布了2022年度市级重大科技专项立项项目名单。由中电工业互联网有限公司下属企业中电鹏程智能装备有限公司（简称中电鹏程）牵头打造的关键技术攻关项目“半导体封测产业关键装备及系统研发（智能制造与装备方向）”获批立项。

目前，中国半导体芯片产业装备90%以上仍依赖国外进口。海外龙头企业垄断性高、供货周期长、供应链不稳定，使半导体芯片产业发展存在较大的不确定性。特别是关键装备的国产化，成为解决“卡脖子”难题、增强我国半导体产业链供应链韧性的重中之重。

中电鹏程基于行业技术经验积累、资源协同共享优势，联合高等院校、科研机构、上下游优势企业，全面布局半导体封测装备试制与验证，将超高精度智能视觉处理技术、机器学习、超高精度运动轨迹控制技术以及基于ARM、DSP、FPGA的工控产品硬件核心模块等核心技术，转化并应用至半导体芯片制造核心装备，大力发展多轴伺服协同、高精度定位和检测等装备的核心共性技术，推进固晶机、晶圆划片机、芯片外观检测机等半导体封测领域关键装备的研制，取得阶段性成果。截至目前，固晶机已实现批量生产，晶圆划片机样机和芯片外观检测机样机研制进入技术应用调试与优化阶段，晶圆划片机相关企业标准在企业标准信息公共服务平台发布。

南京市级重大科技专项遴选立足解决南京经济社会民生发展领域重大问题和困难，重点支持开展提升产业自主可控水平、具有市场应用价值的基础研究和应用基础研究，加快重大研究成果在南京实施转化和产业化。经组织申报、专家评审、现场考察、联席会议和局党组（扩大）会研究等立项程序，2022年度南京市级重大科技专项共有12个项目获批立项。